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微电子技术中使用的超纯气体有几十种，除氧、氢、氮、二氧化碳、等常见气体外，还有烷、三氯化硼、、四氟化碳等自然界不存在的气体。所用化工产品的纯度对半导体成品的影响很大。使用工业气体时，成品率只有10%；使用含杂质小于10ppm的气体和相应的高纯化学剂时，则成品率可提高到70%～80%。例如，等，过去以电石为原料，这时改用氧氯化法以乙烯生产，用氨氧化法以生产。1951年，以为原料，用蒸汽转化法得到及氢，使得到重视。

微电子器件生产的关健在于光刻胶。超大规模集成电路所用的光刻胶是由芳香族叠氮化合物制成的感光树脂，其优点是分辨率高，去胶容易，图像清晰。液晶是微电子器件中不可缺少的显示材料。它是一种有机化合物，由于要求显示温单一液晶都达不到这种要求，须用多种同类型或不同类型的液晶混配使用。开发了多种管式裂解炉和多种裂解气分离流程，使产品乙烯收率大大提高、能耗下降。

、若采用第二个配方，应选择的浓度为98%。目的是提高产品亮度。四、注意事项:1、因本工艺为高温酸性条件下操作,具有腐蚀性，使用和操作过程中，需要穿戴防护工作服及耐酸手套;2、如本品接触皮肤，用水冲洗，并用5%苏打水冲洗;3、本品严禁食用!乙二醇：无色无臭粘稠液体至蜡状固体。溶于水、乙醇和许多其他。对热稳定。与许多***不起作用，不水解不变质。